本書為電子、材料以及物理等領域的科學家和工程師更新納米結構加工的新核心技術。主要內容包括亞25nm圖形的光刻技術，納米尺度精度的沉積技術，納米尺度的圖形刻蝕技術等。本書的亮點不是為了延展微電子制造工藝，而是更多聚焦于可在納機電系統(tǒng)、生物傳感器、納米材料、光子晶體以及其它新型器件結構等革命性技術領域應用的圖形加工技術。