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集成電路工藝實驗基礎

集成電路工藝實驗基礎

定  價:45 元

        

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  • 作者:石建軍,郭穎主編
  • 出版時間:2023/6/1
  • ISBN:9787566922137
  • 出 版 社:東華大學出版社
  • 中圖法分類:TN405-33 
  • 頁碼:164
  • 紙張:
  • 版次:1
  • 開本:26cm
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讀者對象:高校相關專業(yè)師生

本書分3章,共26個實驗,第1章為基礎工藝,包含真空技術、硅片的清洗及氧化、光刻工藝流程實驗教學、氧等離子體刻蝕等;第2章為檢測測量技術,包含MSFET器件特性的測量與分析、橢圓偏振儀測薄膜厚度、紫外可見分光光度計測量亞甲基藍溶液濃度等;第3章為工藝基礎及應用,包含表面波等離子體放電實驗、脈沖放電等離子體特性實驗、低氣壓容性耦合等離子體特性實驗等。
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