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等離子體與功能電介質應用
本書涵蓋等離子體與功能電介質的基本理論及其在多個領域中的具體應用。全書共7章。第1章為緒論,對等離子體和功能電介質進行了簡要的介紹;第2章為功能電介質的等離子體改性,介紹了等離子體技術與功能電介質在特高壓輸電中的應用;第3章為功能電介質極化及老化,分析了功能電介質的極化和老化現象;第4章為功能電介質及傳感技術,介紹了傳感器的基本原理及應用;第5章為等離子體仿真技術,介紹了現有的等離子體數值模型;第6章和第7章分別為半導體中的等離子體刻蝕和等離子體放電催化,展示了等離子體與功能電介質在半導體及催化領域的應用。
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