本書被列入集成電路新興領域“十四五”高等教育教材。全書共7章，以硅微電子器件為中心，在介紹可靠性基本概念、梳理可靠性基本理念的基礎上，重點介紹微電路可靠性設計技術、可靠性的工藝保證要求和控制方法、微電路可靠性試驗與評價，以及支撐這些技術的可靠性數學、可靠性物理和失效分析技術。本書同時介紹了氮化鎵器件的主要失效機理和可靠性設計對策。本書可作為集成電路設計和集成系統(tǒng)、微電子科學與工程專業(yè)的本科生和研究生教材，也可作為從事芯片設計、集成電路制造、可靠性試驗和失效分析等集成電路領域的工程技術人員的參考書。