目錄
前言
第1章 緒論 1
1.1 硅通孔三維集成關(guān)鍵技術(shù)概述 1
1.2 國內(nèi)外研究進展 3
1.2.1 TSV技術(shù)研究現(xiàn)狀 4
1.2.2 基于TSV的三維濾波器 5
1.2.3 基于TSV的三維分支線定向耦合器 11
1.2.4 基于TSV的三維功分器 14
1.2.5 基于TSV的三維變壓器 15
1.3 本書主要內(nèi)容及安排 16
參考文獻 17
第2章 基于TSV的毫米波交指型帶通濾波器 24
2.1 基于TSV的毫米波均勻阻抗交指型帶通濾波器 24
2.1.1 奇偶模阻抗法 25
2.1.2 基于TSV的改進耦合系數(shù)法 30
2.2 基于TSV的V波段均勻阻抗交指濾波器設計 32
2.2.1 結(jié)構(gòu)設計 32
2.2.2 結(jié)果與分析 37
2.3 基于TSV的W波段均勻阻抗交指濾波器設計 39
2.3.1 結(jié)構(gòu)設計 39
2.3.2 結(jié)果與分析 42
2.4 基于TSV的W波段SIR交指型帶通濾波器設計 46
2.4.1 結(jié)構(gòu)設計 46
2.4.2 結(jié)果與分析 51
2.5 基于TSV的U波段SIR雙交指型帶通濾波器設計 57
2.5.1 結(jié)構(gòu)設計 57
2.5.2 結(jié)果與分析 59
2.6 小結(jié) 63
參考文獻 63
第3章 基于TSV的無反射濾波器設計 65
3.1 基于TSV的對稱結(jié)構(gòu)無反射濾波器設計 65
3.1.1 基礎對稱結(jié)構(gòu)無反射濾波器設計 66
3.1.2 對稱結(jié)構(gòu)無反射濾波器的優(yōu)化 81
3.2 基于TSV的互補雙工無反射濾波器設計 87
3.2.1 互補雙工無反射濾波器 87
3.2.2 逆切比雪夫型互補雙工無反射濾波器 92
3.2.3 環(huán)路互補雙工無反射濾波器 96
3.3 小結(jié) 102
參考文獻 103
第4章 三維集成共模噪聲抑制濾波器設計 104
4.1 濾波器原理及主要特性 104
4.1.1 濾波器原理 105
4.1.2 濾波器主要特性 106
4.2 基于全通濾波器的共模噪聲抑制濾波器設計 106
4.2.1 濾波器拓撲結(jié)構(gòu)設計 107
4.2.2 電容、電感結(jié)構(gòu)設計 111
4.2.3 濾波器物理結(jié)構(gòu)設計 112
4.2.4 特性分析 115
4.2.5 工藝描述 120
4.3 基于低通濾波器的共模噪聲抑制濾波器設計 122
4.3.1 濾波器拓撲結(jié)構(gòu)設計 122
4.3.2 電容、電感結(jié)構(gòu)設計 131
4.3.3 濾波器物理結(jié)構(gòu)設計 133
4.3.4 特性分析 135
4.3.5 基于LPF 的高階共模噪聲抑制濾波器設計 139
4.4 小結(jié) 146
參考文獻 147
第5章 基于TSV的分支線耦合器設計 149
5.1 基于TSV的集總參數(shù)分支線耦合器設計 149
5.1.1 應用π形線圈的分支線耦合器 150
5.1.2 應用π形線圈的寬帶分支線耦合器 162
5.1.3 基于TSV的雙頻分支線耦合器 170
5.2 基于TSV的分布參數(shù)分支線耦合器設計 177
5.2.1 基于同軸TSV和CPW的三維毫米波分支線耦合器 177
5.2.2 基于三維曲折傳輸線的小型化毫米波分支線耦合器 184
5.3 小結(jié) 188
參考文獻 188
第6章 基于TSV的功分器設計 190
6.1 基于TSV的單頻功分器設計 190
6.1.1 TSV單頻功分器設計 191
6.1.2 TSV單頻功分器仿真與分析 194
6.2 基于TSV的雙頻功分器設計 199
6.2.1 基于集總參數(shù)變化的雙頻功分器設計與仿真 199
6.2.2 基于頻率變化的雙頻功分器設計與仿真 209
6.3 小結(jié) 212
參考文獻 213
第7章 基于TSV的變壓器 214
7.1 基于TSV的嵌套結(jié)構(gòu)變壓器 214
7.1.1 結(jié)構(gòu)設計 214
7.1.2 仿真與分析 217
7.1.3 變壓器設計中的相關(guān)問題討論 222
7.1.4 制造工藝流程與測試方法 227
7.2 基于TSV的對稱結(jié)構(gòu)變壓器 229
7.2.1 結(jié)構(gòu)設計 230
7.2.2 仿真與分析 232
7.2.3 等效電路模型建立與驗證 238
7.2.4 制造工藝流程 240
7.3 基于同軸TSV的變壓器 242
7.3.1 結(jié)構(gòu)設計 242
7.3.2 仿真與分析 242
7.4 小結(jié) 245
參考文獻 246